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化學氣相沉積爐

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一、產品介紹:
       本系列化學氣相沉積爐分為四個系統,爐體系統,真空系統,氣路系統,控制系統
   爐體系統:爐體外殼采用冷板卷焊接成圓形,爐殼上下加裝爐端蓋。爐殼內部為圓形加熱爐膛,分為兩層,耐火層和保溫層。耐火層由1800度含鋯纖維真空澆注而成,在高溫下具有熱收縮小,耐火溫度高的特點;保溫層選用氧化鋁纖維材料,保溫好,熱損失小。直徑90mm的氧化鋁剛玉管從爐膛中部穿過,兩端采用法蘭水套和氟橡膠圈進行固定和密封,為了減緩在高溫下氟橡膠密封圈的老化,水套通循環水進行降溫。剛玉管下法蘭上留有進氣口和放氣口;上法蘭上留有真空泵連接口,電阻真空計連接口,指針式壓力表連接口。硅鉬棒加熱體分布在剛玉管四周對剛玉管內部的材料進行加熱。
爐體下部為機械運行機構,絲杠拖座固定在絲杠滑塊上通過電機、減速機、渦輪帶動滾軸絲杠轉動實現絲杠滑塊上下運行可將所要加熱的物料以及模具送入爐膛內部進行加熱,絲杠運行通過限位開關進行限位。
真空系統:由指針式壓力表,電阻真空規管,真空計,真空泵,尾氣吸收瓶,尾氣過濾瓶等組成。指針式壓力表和真空計用于顯示爐管內部的壓力。在高溫沉積過程中爐管內部產生的酸性廢氣經尾氣吸收瓶中的氫氧化鈉水溶液吸收酸性,再經尾氣過濾瓶中的真空泵油過濾水分后從連續工作的真空泵排出。尾氣吸收瓶和尾氣過濾瓶主要是過濾酸性氣體和水提高真空泵的使用壽命。
氣路系統:由閥門,過濾器,轉子流量計,混氣罐等組成。在高溫沉積過程中需要參與反應的氣體經閥門、過濾器、玻璃轉子流量計進入混氣罐,幾種氣體混合后通過下法蘭上的進氣口進入爐管內與物料進行反應沉積。
本系列化學氣相沉積爐的控制系統為獨立的控制柜,控溫儀表采用日本島電公司生產的FP93溫控儀表,控溫精度高,控溫效果好,讀數直觀、操作方便。
為了降低事故的發生本系列電阻爐帶有超溫報警功能,當設定溫度超過設定報警溫度時,報警器開始報警通知使用者于此同時切斷主回路電源,使其停止加熱,當溫度回到設定報警溫度以下時,報警開始解除,報警器停止報警,主回路電源接通,電爐開始工作。
斷偶情況下報警器也起作用。

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二、產品名稱、型號、技術參數
產品名稱:化學氣相沉積爐
型    號:SKL16-Φ90×400-JBL
技術參數:
          
        電源電壓:     380V               電源相數:          2相
        電源頻率:     50HZ               額定功率:          12KVA
        額定溫度:     1600℃             空爐升溫時間:      ≤120min
        爐溫穩定度:   ≤±1℃            加熱區尺寸:        Φ80×400mm
        工作區尺寸:Φ80×120


使用單位;北京化工大學常州分院

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