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CVD沉碳化硅爐

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一、產品簡介
    本系列CVD沉碳化硅爐(以下簡稱CVD爐)分為氣路系統,爐體加熱系統,真空處理系統三部分。
     進氣路系統:由流量柜、質量流量計、質量顯示儀,閥門,混氣罐,壓力表等組成。所需氣體由氣瓶流出過減壓閥進行減壓,通過質量流量計,質量流量計根據工藝要求進行調節流速,以達到實驗使用目的,實驗使用氣體通過流量計后進入不銹鋼混氣裝置。氣體進入混氣裝置后經混氣篩進行充分混合,混氣裝置上帶有壓力指針顯示器,用于觀察混氣裝置內部的壓力。充分混合后的氣體從爐體底部進氣口進入剛玉管內參與反應。
    爐體加熱系統:由爐體,運行絲杠,電控柜等組成。電阻爐爐體外型為圓柱形,爐殼用不銹鋼板氬弧焊接而成,爐體固定在裝有升降系統的支架上,爐殼內部為爐膛為分內外兩層內層為耐火層,由1600的高晶纖維真空澆筑而成,在高溫下變形小,耐溫高。外層為保溫層,采用1300度的高鋁纖維材料,保溫效果好,熱損失小。內徑為80mm外徑為90mm長度為1200mm的氧化鋁剛玉管從爐膛中部穿過,剛玉管四周均勻的分布著碳化硅加熱體。對內部進行環形加熱,提高了熱場的有效面積。剛玉管上下兩端采用循環水不銹鋼法蘭及硅橡膠O型圈進行密封,提高了密封圈的使用壽命。上法蘭留有真空系統連接管道口,使用前可預抽真空,通過真空壓力表顯示內部真空度。進料口在爐體下部,減速電機帶動渦輪運行,實現滾珠絲杠的運行,為了保證絲杠的運行方向,絲杠兩端固定導向杠,爐門固定在支架上由絲杠上的滾塊帶動機械升降可平穩的實現爐口的開啟,升降系統裝有自動限位開關,確保使用安全使用。
電爐配電系統安裝在爐體一側,儀表采用日本島電FP93控溫儀,讀數直觀,操作方便。
    本系列CVD爐還帶有超溫報警功能,當溫度超過設定報警值時,蜂鳴器開始報警,并切斷加熱電源,以杜絕事故的發生,安全有效。
   真空系統:由真空泵,玻璃瓶,等。上法蘭上真空管道連接口通過KF快接法蘭進行連接,方便快捷。在高溫下真空泵將參與反應的廢氣抽出,廢氣經冷卻系統進行冷卻,在經油溶液進行進行沉淀除水。最后由真空泵排出。既提高了真空泵的使用壽命又減少了對環境的污染。

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二、產品名稱,型號、技術參數

    產品名稱:CVD沉碳化硅爐
    型    號:   SKLZ13-ф80×400-JBL
    技術參數:
        電源電壓:   380 V                   電源頻率:    50HZ
        相    數:   兩相                    額定功率:    7KW
        使用溫度:   1200℃                  最高溫度:    1300℃
         爐膛尺寸:   Ф200×400                爐管尺寸:    Ф80(內徑)×1300

使用單位:大連理工大學高郵研究院

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